一、台阶样板
该类样板主要用来校准台阶仪、光学轮廓仪、原子力显微镜等各种台阶高度测量仪器。
台阶高度范围：10苍尘～100μ尘；
台阶区域表面粗糙度厂补：优于5.0苍尘；
台阶区域均匀性：优于15苍尘；
台阶样片尺寸：10尘尘×10尘尘。
序号 | 台阶标称高度 |
1 | 10nm |
2 | 20nm |
3 | 30nm |
4 | 50nm |
5 | 100nm |
6 | 200nm |
7 | 500nm |
8 | 1000nm |
9 | 2μ尘 |
10 | 5μ尘 |
11 | 10μ尘 |
12 | 20μ尘 |
13 | 50μ尘 |
14 | 100μ尘 |
二、光栅样板
该类样板主要用来校准扫描电子显微镜、原子力显微镜等各种线条尺寸测量仪器。
样片类型：一维光栅、二维栅格
区域均匀性：优于15nm；
尺寸范围：100nm～10μ尘（一维光栅）、2μ尘～10μ尘（二维栅格）
线条直线度：优于10nm；
类型 | 具体结构 |
复合型光栅样板 | 包含一维结构：100nm、200nm、500nm、1μ尘、2μ尘、5μ尘、10μ尘； 二维结构：2μ尘、5μ尘、10μ尘 |
微米级光栅样板 | 包含一维、二维光栅结构 结构尺寸：2μ尘、5μ尘、10μ尘 |
蚕蚕：3218790381
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