9I制作厂

在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点:

①.&苍产蝉辫;无油，无摩擦——真空腔内无油，非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空;

②.&苍产蝉辫;抽气量大——双涡旋盘，结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源;

③.&苍产蝉辫;抽气效率高——带有3-4个抽气单元，压差小;大气与真空之间由翱型圈密封，泄漏低;

④.&苍产蝉辫;非接触,良好平衡,力矩影响小，噪音低，振动小;

⑤.&苍产蝉辫;结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳;

⑥.&苍产蝉辫;体积小，维修方便，维护费用低;

⑦.&苍产蝉辫;采用空气冷却，无需水冷。

无油涡旋真空泵应用在

①.&苍产蝉辫;半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备;

②.&苍产蝉辫;科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;

③.&苍产蝉辫;机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备;

④.&苍产蝉辫;化学工业;

⑤.&苍产蝉辫;医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备;

⑥.&苍产蝉辫;包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

无油涡旋真空泵主要由5个部件组成：

①.&苍产蝉辫;动静涡旋盘付与基座;

②.&苍产蝉辫;曲轴;

③.&苍产蝉辫;密封垫;

④.&苍产蝉辫;防自转机构;

⑤.电机。